装置概要

＜TEM＞

日立H-7650（高分解能仕様）

　　加速電圧：40〜120 kV （100 kV以下で運用中）

　　分解能　：格子像　0.144 nm　粒子像　0.36 nm

　　画像記録：スロースキャンCCDカメラ(1k×1k)
　　　　　（フィルム撮影には対応していません。）

 

＜EDX＞

EDAX GENESIS MX2 system (検出器：rTEM)

　　検出元素：Be 〜 U

　　分解能　：136 eV

　（液体窒素による検出器冷却が必要です。）